2013.09.26
宇部高専では、地域共同テクノセンターに島津製作所製の走査型プローブ顕微鏡（SPM-9700）とHysitron社製の走査型ナノインデーテンション装置（TI-700）からなる最新鋭走査型プローブ顕微鏡装置一式を導入しました。
走査型プローブ顕微鏡は、試料表面を微小なプローブ（探針）で走査し、試料の三次元形状や微弱な局所的物性差を高倍率で観察できる装置です。今回本校に導入した走査型プローブ顕微鏡は、操作が簡単で、XYを0.2nm、Zを0.01nmまで測定することができます。また、試料サイズは高さ8mm、直径24mmまで対応し、最大走査範囲は 30μm × 30μm × 5μm となっています。
同時に導入した走査型ナノインデーテンション装置は、従来のナノインデンターよりも微小な荷重を負荷（最大で10ｍN＝1gf）でき、3nNの荷重ビット分解能と0.02nmの変位ビット分解能を有しているため、剛性の高い金属材料においても極微小領域の機械特性データを高精度で取得することができます。また、試料表面形状も押込み用圧子を用いて走査し測定でき、ノイズフロアは0.2nm以下、XY走査範囲は 60μm × 60μm です。
これらの装置一式で、原子オーダーに近い表面凹凸を測定し、かつ極微小領域の機械的性質を測定することができます。
9月26日には教職員・学生を対象とした走査型プローブ顕微鏡の取扱説明会を実施し、多くの教職員や学生が出席しました。10月には応用的測定を主とする説明会を開催、11月には走査型ナノインデーテンション装置についての操作説明会を開催します。
地域共同テクノセンターでは、本機器を含む様々な設備を地域企業の方にも解放しておりますので、是非ご利用ください。
お問合せ先：宇部高専企画連携事務室連携係 電話：0836-35-4966
 今回導入された走査型プローブ顕微鏡一式 |
 取扱説明会の様子 |